抽真空系統(tǒng)采用全機(jī)械真空泵組，由前置預(yù)冷凝器+一級(jí)羅茨泵+二級(jí)羅茨泵+液環(huán)泵組成，在一級(jí)羅茨泵與二級(jí)羅茨泵之間設(shè)置一級(jí)冷凝器、在二級(jí)羅茨泵與液環(huán)泵之間設(shè)置二級(jí)冷凝器。
減壓塔頂氣進(jìn)入前置預(yù)冷凝器進(jìn)行熱交換，冷凝后的凝液由大氣腿排入液封罐；未冷凝的工藝氣體進(jìn)行熱交換后溫度降低，進(jìn)入第一級(jí)羅茨真空泵，經(jīng)第一級(jí)羅茨真空泵壓縮增壓后排出進(jìn)入一級(jí)羅茨后冷凝器，冷凝后的凝液匯總后由大氣腿排入液封罐；未冷凝的工藝氣體匯總后進(jìn)入第二級(jí)羅茨真空泵，經(jīng)第二級(jí)羅茨真空泵壓縮增壓后排出匯總至排氣總管，進(jìn)入二級(jí)羅茨后冷凝器，冷凝后的凝液匯總后由大氣腿排入液封罐，未冷凝的工藝氣體進(jìn)入液環(huán)泵機(jī)組，實(shí)現(xiàn)新型的抽真空工藝。